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德国HEIMANN生产硅MEMS结构皮拉尼真空传感器


德国HEIMANN真空传感器HVS是微型的皮拉尼型传感器,基于HEIMANN的MEMS技术的加热电阻结构从而是传感器更小,更坚固,可以封装在TO封装中。

芯片型号:

HVS vac03g TO-8  压力范围1mbar - 10-5mbar

HVS vac03k TO-39  压力范围1mbar - 10-5mbar

HVS vac04  TO-39(单芯片),TO-8(双芯片) 压力范围1-1000mbar

订购型号:Vac03g + Vac04 in TO8  ,Vac03g in TO8 ,Vac03k in TO39,Vac04 mit Brücke in TO39,Vac04 ohne Brücke in TO39

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